グロープラズマ

減圧した装置内に二枚の電極を立てて強制的に放電させる。

これがプラズマ発生の基本原理といいましたが、実はこれにより得られるプラズマには代表的なものとして２種類あります。

このうちグロープラズマ（グロー放電プラズマ）というのは、比較的電流が小さく、電圧が高い状態で作られます。

ファラデーが最初に作ったプラズマもこれです。

グロープラズマが作られやすい圧力は、大気圧の十万分の１～千分の一程度といわれています。

そこに立てた電極板間に直流（交流でも可）を流し始め、電流が0.1アンペア以下、電圧が数百ボルト程度になるように高めていきます。

するとあるレベルで突然光り輝くグロー放電が始まるのです。

ただし、一様に光るわけではありません。

陰極付近には陰極暗部とよばれる暗部と、ファラデー暗部とよばれる暗部とがあります。

ファラデー暗部と陽極の間が、陽光柱と呼ばれる明るい部分です。

グロープラズマでは、電子自体は極めて高速に加速されており、従って高いエネルギーを持つのですが、イオンや非帯電粒子の運動エネルギーはそれよりもはるかに低く、プラズマ全体としての温度は室温とそれほどはかわりません。

こういった状態を低温プラズマといいます。

身近にあるグロープラズマ応用の代表例は、蛍光灯あるいはネオンサインでしょう。

蛍光灯は紫外線を蛍光色素に当てることで、ほぼ白色の光を得ることができます。

ネオンサインの場合、別にネオンだけを使うわけではなく、気体の種類（や圧力）により陽光柱の色が決まります。

たとえばネオンだとオレンジ色、アルゴンだと赤紫が得られます。

またグロープラズマは、半導体を作る時などのドライ・エッチングにも用いられます。